12
当前位置：上海添时科学仪器有限公司>>雷博科学仪器>>工业半导体设备>> 超大型匀胶机
超大型匀胶机
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。
产品介绍
适用于直径450mm-2000mm的非规则重载基底匀胶工艺
可根据客户基片规格及工艺定制设备
不锈钢全柜式柜体,多级安全系统
透明观察窗,配置专业排风及排废系统
可配置自动胶臂滴胶功能
触摸式人机交互界面,可灵活设置100组工艺配方
产品参数
旋转速度范围: 50-1000rpm(视基底尺寸、质量)
加速度范围: 50-200rpm/s(视基底尺寸、质量)
胶液管路: ≤2路
设备尺寸: 3400mm(W)*2600mm(D)*2100mm(H)
